분류 전체보기 (15) 썸네일형 리스트형 CMOS 소자 제작 ③ - Annealing 공정 변화를 통한 소자 특성 개선 지난번에 말씀드린 것처럼 어떻게 annealing 공정을 바꿨고 어떤 특성 변화를 기대했는지에 대해 설명해 볼게요! 실제로 새로운 소자를 만드는 것이 시간적 제한이 있어서 하지 못하고 예측한 것이기 때문에 정말 그럴 수도 아닐 수도 있습니다. 문제상황 우선 문제상황은 20nm의 경우 annealing 후가 오히려 leakage current는 커지고 K value는 작아졌다는 점이었습니다. 전 게시글을.. CMOS 소자 제작 ② - CMOS 소자 제작 과정 이번 글부터는 직접 어떻게 제작했는지에 대해 설명해 보겠습니다! 물론 제가 만든 건 아니고 대학원 조교님들이 만들어주신 거라 정확한 공정 팁이나 이런 건 없지만 공정조건에 따른 특성분석을 진행했구나라고 생각하고 봐주세요. 1. CMOS recipe 0. wafer - P-Si1. wafer cleaning - acetone sonic 1min, methanol sonic 1 min, DI water sonic 1 min (sonicator사용) 2. thermal ALD - TEMAHf (precursor), ozone (reactant) / stage temperature 320ºC HfO2 10.2nm --> precursor feeding time 1.5s, reactant time 30s / 6.. CMOS 소자 제작 ① - HKMG의 필요성 이번 게시글 부터는 교내 연구실에서 진행한 CMOS 소자 제작 및 공정 조건에 따른 특성변화에 대해서 다뤄 보겠습니다. 아마 많은 반도체 관련 인턴이나 취준생분들은 익숙하거나 알고 싶은 내용일 수도 있을 것 같아요! 재밌게 봐주세요 1. CMOS란 무엇인가?CMOS는 Complementary Metal Oxide Semiconductor라는 이름에서 알 수 있다시피 N ,P type의 MOSFET을 함께 써서 전력효율을 높인 MOSFET 구조입니다. CMOS는 인버터로 1을 넣으면 0이 나오고 0을 넣으면 1이 나오는 구조입니다. 아래그림에 1을 넣어주면 아래 있는 NMOS만 on이 되면서 0이 0을 넣으면 위에 있는 PMOS만 On이 되면서 1이 나오는 구조입니다. 자세한 동작원리는 유투브나 검색해보시.. 관측장비의 이해④ SEM_1_Microscope의 역사와 Spacial resolution 드디어 가장 발전되고 많이 사용되는 관측장비인 SEM과 TEM을 다루게 되었습니다! 기존에 비해 양이 조금 많고 내용이 어려울 수 있어 많이 나눠서 설명하려 합니다. 천천히 따라와주세요! SEM - Resolution limit SEM은 Scanning Electron Microscope의 줄인말입니다. 이름에 맞게 그 원리와 고려사항이 기존의 Microscope, 우리에게 친숙하게는 광학현미경, Optical microscope와 유사합니다. 따라서 본격적으로 SEM을 설명하기 전에 광학현미경을 먼저 봐보겠습니다. 광학현미경의 경우 우리가 원하는 sample을 (밑에 그림에는 specimen이라 되어있지만) 빛과 렌즈를 통해서 확대해서 봅니다. 여기서 굉장히 중요한 개념이 나오는데 그게 바로 reso.. 관측장비의 이해③ XPS_Photoelectron과 Auger electron 오늘은 XPS에 대해 알아보겠습니다! 이번에도 최대한 기초부터 설명드릴 수 있도록 노력해볼게요! XPS_Photoelectron Photoelectric effect는 한글로 하면 익숙하신 분들이 꽤 있으실 거라 생각합니다. 바로 광전효과 입니다. 먼저 광전자 즉 Photoelectron이 뭔지를 알아야 겠죠. 이는 일정 에너지를 갖고 여기된 전자를 의미합니다. 어떻게 여기되는지는 아래 그림을 보면서 설명드리도록 하겠습니다. 그림처럼 Incident photon(XPS에서는 X-ray를 사용합니다)이 원자의 core shell electron을 떄려 여기되는 electron을 photoelectron이라 합니다. 위 그림에서 알 수 있듯 coreshell이 아니라 바깥껍질의 electron을 때려 나오게.. ssafy 앰버서더 발대식 후기 안녕하세요! 오늘은 최근에 시작하게 된 SSAFY 앰버서더 발대식 후기를 남겨볼까 해요! ㅎㅎ 평소 SSAFY에 대해 관심있으신 분들, 혹은 앰버서더 활동에 관심이 있으신 분들이라면 꼭 읽어보세요:D 소프트웨어 역량에 대해 너무나도 강조하고 있는 요즘 관련 대외 활동에 대해 알아보다가 SSAFY에 대해 알게 되었어요! SSAFY(싸피)는 삼성에서 만든 청년 소프트웨어 아카데미로 Samsung Software Academy For Youth의 약자입니다. SSAFY 앰버서더는 SSAFY에서 하는 활동들, 혹은 SSAFY의 소식에 대해 홍보하는 역할을 담당하고 있습니다. 저의 경우엔 앰버서더를 통해서 SSAFY의 앞선 기수분들과의 인터뷰를 통해서 SSAFY에 대해 더 많이 알 수 있을 것 같아 지원하게 되었.. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_ 원리와,Peak 그리고 다양한 factors 지난 포스팅에는 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 모두 나오면 ,Kα X-선만을 얻어내는지에 대해 알아보았습니다. 해당 내용 포스팅은 아래글을 확인해주세요! https://vanshy.tistory.com/9 오늘은 드디어! XRD자체의 원리와 peak의 의미, 그 peak를 결정하는 다양한 factor들에 대해 알아보겠습니다! 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_Kα 와 Kβ 지난 포스팅에는 X-ray자체가 어떻게 생기는지에 대해서 알아봤습니다! 혹시 궁금하신 분이 계신다면 아래 글을 참 고 해주세요! https://vanshy.tistory.com/6 오늘은 이제 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 vanshy.tistory.com XRD의 원리 XRD의 원리.. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_Kα 와 Kβ 지난 포스팅에는 X-ray자체가 어떻게 생기는지에 대해서 알아봤습니다! 혹시 궁금하신 분이 계신다면 아래 글을 참 고 해주세요! https://vanshy.tistory.com/6 오늘은 이제 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 모두 나오면 ,Kα X-선만을 얻어내는지에 대해 알아보겠습니다. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD) 관측장비의 이해 ① 반도체 현장에서 뿐만 아니라 어디든 엔지니어가 있는 곳이라면 XRD,TEM,SEM등 관측장비를 사용할줄 아는능력이 필수입니다. 이를 위해서 XRD를 시작으로 추후 XRF,SEM,XAS,TEM등의 vanshy.tistory.com Kα 와 Kβ란 무엇인가? 이전 글의 마무리에서 말씀드렸던 Kα 와 Kβ 중 Kα만 따로 쓰는 방법은 .. 이전 1 2 다음
