CD KIM/반도체 기본 (7) 썸네일형 리스트형 CMOS 소자 제작 ③ - Annealing 공정 변화를 통한 소자 특성 개선 지난번에 말씀드린 것처럼 어떻게 annealing 공정을 바꿨고 어떤 특성 변화를 기대했는지에 대해 설명해 볼게요! 실제로 새로운 소자를 만드는 것이 시간적 제한이 있어서 하지 못하고 예측한 것이기 때문에 정말 그럴 수도 아닐 수도 있습니다. 문제상황 우선 문제상황은 20nm의 경우 annealing 후가 오히려 leakage current는 커지고 K value는 작아졌다는 점이었습니다. 전 게시글을.. CMOS 소자 제작 ② - CMOS 소자 제작 과정 이번 글부터는 직접 어떻게 제작했는지에 대해 설명해 보겠습니다! 물론 제가 만든 건 아니고 대학원 조교님들이 만들어주신 거라 정확한 공정 팁이나 이런 건 없지만 공정조건에 따른 특성분석을 진행했구나라고 생각하고 봐주세요. 1. CMOS recipe 0. wafer - P-Si1. wafer cleaning - acetone sonic 1min, methanol sonic 1 min, DI water sonic 1 min (sonicator사용) 2. thermal ALD - TEMAHf (precursor), ozone (reactant) / stage temperature 320ºC HfO2 10.2nm --> precursor feeding time 1.5s, reactant time 30s / 6.. CMOS 소자 제작 ① - HKMG의 필요성 이번 게시글 부터는 교내 연구실에서 진행한 CMOS 소자 제작 및 공정 조건에 따른 특성변화에 대해서 다뤄 보겠습니다. 아마 많은 반도체 관련 인턴이나 취준생분들은 익숙하거나 알고 싶은 내용일 수도 있을 것 같아요! 재밌게 봐주세요 1. CMOS란 무엇인가?CMOS는 Complementary Metal Oxide Semiconductor라는 이름에서 알 수 있다시피 N ,P type의 MOSFET을 함께 써서 전력효율을 높인 MOSFET 구조입니다. CMOS는 인버터로 1을 넣으면 0이 나오고 0을 넣으면 1이 나오는 구조입니다. 아래그림에 1을 넣어주면 아래 있는 NMOS만 on이 되면서 0이 0을 넣으면 위에 있는 PMOS만 On이 되면서 1이 나오는 구조입니다. 자세한 동작원리는 유투브나 검색해보시.. 관측장비의 이해④ SEM_1_Microscope의 역사와 Spacial resolution 드디어 가장 발전되고 많이 사용되는 관측장비인 SEM과 TEM을 다루게 되었습니다! 기존에 비해 양이 조금 많고 내용이 어려울 수 있어 많이 나눠서 설명하려 합니다. 천천히 따라와주세요! SEM - Resolution limit SEM은 Scanning Electron Microscope의 줄인말입니다. 이름에 맞게 그 원리와 고려사항이 기존의 Microscope, 우리에게 친숙하게는 광학현미경, Optical microscope와 유사합니다. 따라서 본격적으로 SEM을 설명하기 전에 광학현미경을 먼저 봐보겠습니다. 광학현미경의 경우 우리가 원하는 sample을 (밑에 그림에는 specimen이라 되어있지만) 빛과 렌즈를 통해서 확대해서 봅니다. 여기서 굉장히 중요한 개념이 나오는데 그게 바로 reso.. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_ 원리와,Peak 그리고 다양한 factors 지난 포스팅에는 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 모두 나오면 ,Kα X-선만을 얻어내는지에 대해 알아보았습니다. 해당 내용 포스팅은 아래글을 확인해주세요! https://vanshy.tistory.com/9 오늘은 드디어! XRD자체의 원리와 peak의 의미, 그 peak를 결정하는 다양한 factor들에 대해 알아보겠습니다! 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_Kα 와 Kβ 지난 포스팅에는 X-ray자체가 어떻게 생기는지에 대해서 알아봤습니다! 혹시 궁금하신 분이 계신다면 아래 글을 참 고 해주세요! https://vanshy.tistory.com/6 오늘은 이제 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 vanshy.tistory.com XRD의 원리 XRD의 원리.. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_Kα 와 Kβ 지난 포스팅에는 X-ray자체가 어떻게 생기는지에 대해서 알아봤습니다! 혹시 궁금하신 분이 계신다면 아래 글을 참 고 해주세요! https://vanshy.tistory.com/6 오늘은 이제 X-ray에서 Kα X-선과 Kβ X-선이 모두 나오면 ,Kα X-선만을 얻어내는지에 대해 알아보겠습니다. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD) 관측장비의 이해 ① 반도체 현장에서 뿐만 아니라 어디든 엔지니어가 있는 곳이라면 XRD,TEM,SEM등 관측장비를 사용할줄 아는능력이 필수입니다. 이를 위해서 XRD를 시작으로 추후 XRF,SEM,XAS,TEM등의 vanshy.tistory.com Kα 와 Kβ란 무엇인가? 이전 글의 마무리에서 말씀드렸던 Kα 와 Kβ 중 Kα만 따로 쓰는 방법은 .. 관측장비의 이해 ① X-ray diffraction(XRD)_Continuous X-ray(연속x선) 와Characteristic X-ray(특성 X선) 관측장비의 이해 ① 반도체 현장에서 뿐만 아니라 어디든 엔지니어가 있는 곳이라면 XRD,TEM,SEM등 관측장비를 사용할줄 아는능력이 필수입니다. 이를 위해서 XRD를 시작으로 추후 XRF,SEM,XAS,TEM등의 작동원리와 개념에대해서 설명해보겠습니다! XRD : X-ray diffraction - X-ray 익숙한 이름 XRD는 위에서도 알 수 있 듯 X-ray diffraction의 줄인말입니다. 먼저 X-ray가 뭔지를 알아봐야겠죠? 어찌보면 X-ray는 모두에게 익숙할 거라고 생각하는데요. 하지만 우리가 흔히 정형외과에서 찍는 X-ray와 재료나 물질의 확인하는 X-ray는 필요로 하는 특성과 작동원리 모두 다릅니다. 의료용의 경우 X-ray의 높은 투과율을 이용하고, crystallograph.. 이전 1 다음
